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功能介绍:表面清洗和活化等离子体其中包括原子、分子、离子、电子、活性基团、激发态原子、活化的分子及自由基,这些粒子的能量和活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,从而有些化学键被打开后结合上氧原子等高活性的物质,使得材料表面亲水性得到极大提高,同时对材料表面的油污等有机大分子新的化学反应,生成气态小分子,例如二氧化碳,水气等气态物质被真空泵抽走,从而达到对材料表面分子级别的清洗。在粘接/bonding/印刷/镀膜/封装等工序时让产品可靠性更高,良品率更好。

设备优点:功能全面  批量生产  智能化操作系统

真空舱内结构可定制


 





配置参数 (如需了解具体参数配置欢迎联系我们)                 选装配置

真空舱体:不锈钢;W600mm H600mm D800mm              射频电源:13.56MHz;0-1500W

真空舱门:铝;铰链门带观察窗                                            流量计:质量控制流量计(MFC)

控制系统:西门子PLC+触摸屏                                             电极层数:可根据要求分层

射频电源:40KHz;0-2500W无极可调                                 射频电源:40KHz;0-5KW 或 0-10KW        

真空计:实时显示舱体内压力

流量计:浮子流量计                                 

外形尺寸:W1500mm H1700mm D1300mm

外部供电:380V;50Hz



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